设备特征 ● 优质的光束质量和可靠的系统 ● 高达150 mm的划片速度,不良率极低 ● 自动冷却单元 ● 精确的cnc工作台 ● 友好的人机界面和简易的软件操作 技术指标 激光工作物质:nd3+:yag 激光波长:1064 nm 泵源:半导体激光二极管 聚光腔:金腔 调制频率:0.5-50 khz 平均激光功率:可调,大50 w 准直光:红激光 划片速度:可调,大150mm 划片深度:大1.2mm 划片线宽:小0.02 mm 工作台重复定位精度:0.01mm 工作台行程:450 mm × 350 mm 额定输入电压:单相ac 220v ± 10%, 50 hz/ 60 hz,带保护地线(如电压波动太大,需配备稳压器) 大输入功率:3 kw 尺寸:控制系统1400 mm × 1270 mm × 650 mm 冷却系统910 mm × 700 mm × 530 mm 净重:约320 kg 冷却方式:水冷 标准配置 激光器 1 台 离心风机 1 台 真空泵 1 台 冷却单元(冷却器,温度控制器,水箱,过滤器) 1 套 本产品的名称是激光划片机,产品用途是能适应单晶硅、多晶硅、非晶硅电池划片和硅、锗、化半导体材料的划片和切割。
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